真空分析质谱计的一般要求为:
①仪器探头尺寸小、质量轻、易于安装;
②对于磁偏转型仪器和摆线型仪器来说，仪器的杂散磁场必须很小;
③仪器探头应具有互换性，成本低，允许一机可配用数个探头;
④探头能经受400℃烘烤，离子源能用电子轰击除气，以减小“记忆效应”;
⑤仪器的质量标度最好为线性标度，工作质量范围的调节要方便;
⑥仪器应易于操作，离子源的工作参数应尽量固定;
⑦具有较高的扫描速度，至少能将一部分质谱显示在示波器上。
对于分压计来说，还应要求:
①质谱的峰强和质谱的图形系数对应真空系统中的气体量之间应具有一定的定量关
②探头连接管的流导要大，减小压力差和质量歧视，最理想的是能作成裸规形式的探头；
③要求磁偏转型和摆线型质谱计，在重新安装磁铁后，对仪器性能不需再作校准;
④采用低工作温度的阴极和低发射电子流，以减小对分子的热分解、电清除及化学清除效应;
⑤采用标准的电子轰击能量，从而尽可能使用标准的碎片图形(离子谱);
⑥良好的峰形、一致的峰宽，便于计算机处理数据。
为特定目的而选择仪器时，应首先从所需要的质量范围来确定所要求的最小可检分压力，再考虑在此灵敏度下仪器的分辨本领和扫描速度等。