低真空电子束焊接机具有真空系统简单，设备成本低，使用方便，更换被焊零件后抽气时间短，对被焊零件清洗要求低等优点。
低真空型电子束焊接机的真空系统必须满足如下几个要求:
①枪室和焊接室之间的压差要足够的大，以保证枪室的工作压强不高于6.6 x 10-ZPa，而且要保证电子枪的阴阳极区域的气压尽可能稳定。
②焊接室的工作压力处于低真空状态，但要保证:电子束在工件上的穿透能力接近高真空条件下的穿透能力;在低真空状态下的焊接气氛要保障达到优良的焊缝冶金质量。
③电子束在低真空区飞行的距离尽可能短，以减少电子束的散射损失。
由于在气体中飞行的电子同气体分子和其它粒子间会发生相互作用，又由于核电场的作用，会造成部分电子偏离原来的路线，这一类的离散叫弹性散射。电子的弹性散射又同气体分
子的种类、气体密度、电子能量(或加速电压)以及电子飞行的路程有关。国外在这方面作了不少研究工作。大t实践都证明了加速电压为60kV时，电子束飞行距离为500n=左右。当焊
接室压力为3Pa-4Pa时，电子束在工件上的穿透能力基本上同高真空条件下一样。当焊接室压力升高到6.6Pa时，仍能得到非常满意的穿透性能。
当焊接室压力为4Pa时，如果把所有残余气体分子都作为杂质来看待，则气体的当量纯度达到40 x 10-6，这比起商品供应的最纯盆气(纯度约为50 x 10-6)还要好一些。从真空冶金角度来看，焊接室压力为4Pa-6.6Pa时，对于绝大多数金属材料来说，去除焊缝中的杂质，提高焊缝的冶金质量可以达到相当满意的结果。
为保证枪室和焊接室之间具有足够的压差和电子枪的工作稳定可靠，枪室真空系统选用了有效抽速为150L/s的JK一150型高真空机组，枪室和焊接室之间设置了一个经综合考虑
的气阻管。为了更换被焊零件后只需较短的抽气时间，特别是保证焊接室在满功率工作状态下具有不高于4Pa的压力，焊接室选用了一台2X一30型机械泵作为前级泵，一台zJ一150型机械增压泵作为主泵。