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真空冶金中所用的真空泵系统

真空冶金中最常用的真空泵系统主要分为以下几种：

1、真空系统按照工作真空度的高低可分为低真空系统、高真空系统和超真空系统;

2、按其用途可分为排气系统、充排气系统、镀膜系统、刻蚀系统、真空退火系统以及各种特殊科研用系统如空间模拟

装置、热核装置、加速器等真空系统;

3、如按照结构材料则分为玻璃系统和金属系统。

4、最能说明真空系统抽气过程的是静态系统与动态系统的概念。静态系统是指真空系统中没有气体流动的系统，这时系统各处压

强相等，都等于泵的极限压强。而动态系统是指系统中有持续气体流动的系统，这时由于有压强差，各处压强并不相同。实际的

真空系统，不可避免地总存在漏气和放气，从严格意义上讲都属于动态系统。

(1)低真空系统

这种系统的极限真空度不高，一般在10-1Pa以下，只用机械泵抽气,包括水环真空泵、活塞真空泵、旋片真空泵、罗茨真空泵等

。

(2)高真空系统

极限真空度在10-3~10-5Pa之间，一般用机械泵串联扩散泵进行抽气。真空度的测量用热偶计(或高压强电离计)测中真空、用电

离计测高真空。

(3)超高真空系统

常见的电子管排气用的超高真空系统，由溅射离子泵、钛升华器、两个吸附泵以及相应的阀门、真空规管等组成。这种系统在采

用200~250℃除气时，可获得10-7Pa的真空度:用450℃除气时，可获得10-8Pa的真空度。