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什么是罗茨旋片真空机组？

罗茨旋片真空机组的主要特点是真空度高，但不能抽易燃易爆的气体和可凝性气体，这主要是由旋片真空泵的特殊性决定的。

罗茨旋片真空机组是以罗茨真空泵为主泵，以旋片真空泵为前级泵并配有DDC-JQ电磁真空带充气阀、管路等的一整套真空获得

设备，有结构紧凑、操作方便、抽气能力大、抽气时间短等特点，广泛应用于真空冶金、真空脱气、真空镀膜以及空间模拟、低

密度风洞装置中抽除非腐蚀性气体。与油扩散泵机组相比，其真空度低，但在极短时间就能达到。若将机械泵、罗茨真空泵与油

扩散泵进行三级组合，便能大大缩短获取高真空度的时间，30分钟即可达到5x10-4Pa的真空度。