旋片式真空泵(滑阀真空泵)的气蚀过程可以这样描述：泵在达到或接近极限压力时，进气侧的泵腔中，真空油在低压下不断汽化，产生充满油蒸汽的汽泡；溶解在泵油中的空气和其它气体也不断分析出来，并把油的蒸汽也带出来，形成充满泵油蒸汽和气体的汽泡；由于滑阀、偏心轮的不平衡惯性力产生周期性激励振动，使泵液压力作周期性波浪变化，滑阀表面上泵液压力也作周期性升高和降低，当压力降低到汽化压力以下时，在滑阀表面上的泵液将汽化为汽泡。
在这三种情况的共同作用下，不断产生汽泡、长大，并被滑阀带到泵的排气侧，而汽泡又最容易附着于运动零件(滑阀)的表面，当排气侧压力升高，并超过临界压力以后，汽泡迅速缩小并破灭，因为汽泡中的压力始终等于或接近临界值(汽化压力)，而汽泡外面泵液的压力则比较大，故泵液以很高的速度向汽泡中心冲去，在汽泡消失的同时产生强烈的油锤现象。因为汽泡不断产生，数量又多。破灭的时间也不一致，并发生了强烈的撞击和振动，所以汽蚀的振动和噪声也是属于中、高频的宽频带振动和噪声。
旋片真空泵的汽蚀既然与水环式真空泵的气蚀相似，那么影响气蚀程度的因素也应基本相似，也就是说应与旋片真空泵的转速和转动部件(滑阀、转子)的尺寸有关，而且有可能与油封泵的转速平方成正比，当然这有待于以后进一步验证。至于为什么在2X-70型旋片真空泵上会发生汽蚀破坏，就因为它的转动部件够大，而转速又特别高。其它大泵则转速低，转速高的又都是小泵，所以发生汽蚀的条件不充分，发生的汽蚀就不严重。不可能造成零件的损坏。
为了防止产生严重气蚀，从设计角度考虑，小型旋片泵可以设计成高速，大中型泵的转速则不可过高，泵越大转速应该越低。在运转过程中为了消除气蚀和汽蚀噪声，可以向泵内掺入微量气体。
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