太阳能光伏行业上常用的真空泵有旋片真空泵、罗茨真空泵、干泵、分子泵和冷泵等。扩散泵已经很少使用。上海飞鲁真空泵厂生产旋片真空泵带有防返油装置，防止被抽气体在泵油中凝结；接过滤器，过滤泵油中的杂质；接油雾过滤器和自动回油装置，减少油的损耗。旋片真空泵有普通型和防腐型两种类型。使用的油也分为普通真空泵油和防腐真空泵油，这两种油不能混合使用。

罗茨真空泵主要功能是在低真空下增加抽气速度，需配前级泵做真空机组使用。干泵的使用越来越多，它使用小量的防腐真空泵油，但是抽真空部分不含油。分子泵是靠高速旋转的叶片和静止叶片一起将气体抽走来产生高真空。冷泵是通过在泵内冷头上产生11K左右的极低温度，再加上吸附阱对气体进行吸附，来达到抽高真空的目的。冷泵是由冷泵和高效He压缩机机组成。