抽大容器和大抽气量的真空泵系统

虽然目前罗茨真空泵的最大抽速可以高达20,000L/s，但是罗茨泵的最大允许压差，均在3~5×103Pa，不能直排大气。为了缩短大容器的抽空时间.减少预真空泵的台数，或者确保罗茨泵能在高压差下长期运行，气体循环冷却式罗茨泵的出现无疑是一重大突破。这种气冷式罗茨泵的热平衡机理见图1所示。

图1 气冷式罗茨泵机理

当转子封闭进气口后泵腔先接通返冷气口，待返入冷气在进排气口压差的作用下自动充满泵腔后再接通排气口，冷气由安装于排气口下方的换热器提供。这一设计使压缩所产生的热量被冷气所平衡，而不会导致泵过热过载，从而使罗茨泵允许在高压差(8.7×104 Pa)下运行，可以直排大气。气冷罗茨泵既可以作为单泵使用，亦可以与其他泵组成机组。在粗抽阶段由气冷罗茨泵直接向大气排气，这一特性使气冷罗茨泵机组的抽速从大气压开始即取决于气冷罗茨泵，而不受前级机械泵或水环真空泵的抽速所限制。这对于大负载抽气以及需要缩短抽气时间以提高工作效率具有特殊意义。