由于各种真空泵的性能除均能满足对容器停止抽真空的共同点之外,尚具有不同之处。因而在选用时必需明白泵在真空系统中所承当的工作任务是非常重要的,泵在各种不同工作范畴中所起的作用归结起来主要有如下几个方面。
1、在系统中做主泵
所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接停止抽真空,以取得满足工艺请求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指从大气压开端降低真空系统压强到达另一抽气系统能够开端工作的真空泵。
3、前级泵
前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高答应的前级压强以下的真空泵。
4、维持泵
维持泵是指当真空系统抽气很小时,不能有效的应用主要前级泵。为此,在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指从大气开端,降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。
7、超高真空泵
超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。
8、增压泵
增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以进步抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率请求的真空泵。
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