与油封泵不同，无油涡旋真空泵的工作腔没有油，工作过程产生的热量无法导出，使涡圈热变形的问题非常突出。静涡盘一般有冷却机构，变形较小，而动涡盘因无冷却措施，自中心向周边热变形逐渐增大，如果不采取措施会导致两涡盘接触，使泵的工作稳定性下降，并可能产生动涡盘卡塞。因此，应修正动涡圈壁厚，即在其达到工作温度时涡圈相互不碰撞的前提下，使两涡盘侧隙最小。

除了型线修正外，决定泵实际型线的还有机械加工精度。在涡旋真空泵中，最重要的几何精度有涡旋型线轮廓度、垂直度、位置度和壁厚尺寸公差，这4种几何精度决定泵的性能。当上述精度较差时，两涡旋盘之间的泄漏增加，影响泵的实际抽速和极限压力。同时，因泵的机械摩擦增加，效率和寿命也明显下降。因此，选择合理的加工精度对泵的性能影响至关重要。

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                    涡旋式真空泵的工作原理