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间隙对水环真空泵真空度的重要性



需要特别指出,一般认为双级水环真空泵高真空缸的真空度高,所以间隙应取得小一些。其实并非如此,正是因为高真空缸的真空度高,气体分子自由程较大,在同样间隙下,气体分子不容易穿透间隙,而在低真空缸,由于气体分子自由程较小,气体比较容易穿透间隙。所以低真空缸的间隙必须严格控制,反而高真空缸的间隙倒是可以适当放宽。

我们曾在15L/s双级水环真空泵上做过对比试验,证实这个观点是正确的,对提高抽气速率有益。我们曾检测过E2M40泵(名义抽速11.8L/s)高真空缸的侧面间隙为0.095mm,低真空缸的侧面间隙为0.06mm;D-650K泵(名义抽速10.67L/s)高真空缸的侧面间隙为0.07~0.08mm,低真空缸的侧面间隙为0.05mm。



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