1、旋片真空泵的排气阀弹簧失效，在排气过程中阀片不能及时关闭，部分气体、油箱中的泵油返流到泵腔内，泵内气压高，进气口的气体不能扩散到机械泵内，导致抽速低，抽空时间延长;

2、泵轴上的骨架油封磨损，泵内的旋片在压缩排气过程中，一部分气体在压缩过程中被压缩到端盖、轴承等区域滞留下来，一旦泵腔内压力降低，这些气体又会返回到泵腔内，造成抽气速率降低;

3、真空泵油太脏，油内含有水分和粉尘。粉尘造成回转件之间的油膜无法生成;水分造成泵内气饱和气压高，进气口的气体不能扩散到机械泵内;

4、运动部件的间隙过大，旋片与泵腔的间隙大于0.15mm，油膜无法填充二者的间隙，如同进气口和排气口相通，气体自始自终在泵内循环，旋片泵失去抽气功能。