真空泵在运行中都会发生磨损，从而导致抽气量的下降。实践证明，平面泵抽气量年降低率在2.5%左右;锥体泵由于其结构优势，抽气量年降低率在1%左右。

特别是平面泵靠泵头和转子之间的平面接触来维持叶轮之司的气密性，由于磨损使间隙增加导致抽气量下降;若要恢复其抽气性能，需要更换整个泵头和转子，维修费用很高。而锥体泵要恢复其抽气性能，仅需在锥体和泵头之间增加几个垫片，使锥体内移以减小磨损间隙即可，维修费用极低;一般旧泵维修后的抽气量可以达到新泵抽气量的95%。