涡轮分子泵是一种高速旋转的机械泵，动叶片的线速度很高，转子的转速一般为200~1200s-1.这样的转子会因为平衡不好而引起

振动，使轴承很快磨损，涡轮分子泵的寿命也会因此缩短，所以涡轮分子泵动平衡的好坏是发展涡轮分子泵的关键所在。此外，

涡轮分子泵对异物进入特别敏感，通常在泵的入口处设置金属过滤网。

为了彻底杜绝油蒸汽对涡轮分子泵的污染和进一步提高涡轮分子泵的性能，近些年来，又出现利用空气轴承和磁悬浮轴承的新型

涡轮分子泵。这样一来，涡轮分子泵作为清洁的超高真空泵就更加完善了。目前涡轮分子泵，经过烘烤去气可以获得极高真空。

我国在分子泵的研究和生产方面进展很快，在60年代研制成功的卧式涡轮分子泵的基础上，很快发展了铣制和扭制叶片的两种立

式涡轮分子泵系列产品，并有抽速110、150、450、550、600、1200、1500和3500L/s等多种规格。并将磁悬浮式轴承用于涡轮

分子泵。

近10年来，由于轴承和高速旋转以及数控加工技术的不断发展，国际上涡轮分子泵的研制也取得了长足的进步，抽速从50L/S已发

展到25000L/S（日本）甚至达到40000L/S（俄罗斯）。

涡轮分子泵的压缩比与涡轮叶片的级数有关。提高泵的压缩比要增加叶片的级数。而牵引分子泵的压缩牵引分子泵比与抽气槽的

形状有关。提高压缩比很容易，在尺寸相同情况下，牵引分子泵的抽速比涡轮分子泵的抽速低很多。因而，利用这两种泵各自的

特点，1972年出现了一种高抽速高压缩比的涡轮---牵引复合式分子泵。这种复合式分子泵利用空气静压轴承和气动马达，可以做

到完全无油。采用一种无摩擦的螺旋动密封，不用前级泵便可直接向大气中排气。

涡轮分子泵的结构不断改善，用途越来越广。在某些应用领域已有代替油扩散泵的趋势。

目前磁悬浮式涡轮分子泵和宽领域型复合分子泵也早已达到实用化程度，使涡轮分子泵向高流量、高出口压力方向发展，使分子

泵不仅在极高和超高真空范围内应用，还可用于高真空和中真空范围。现已成为清洁真空的重要获得手段，应用领域在不断扩大

。的情况下，