获得真空的过程俗称“抽真空”,其主要方法是在工作系统中用泵抽气,为了进一步提高真空度,常采取些辅助措施,如在工作
系统中安置冷阱并放置吸附剂,使未被抽走的残余气体冷凝并被吸附等。
从一个大气压开始抽气的泵叫前级泵。低于一个大气压才能抽气的叫次级泵,次级泵开始工作的气压称为预备真空或前级真空。
在规定气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率,亦称抽速或泵速,单位是L/s。真空泵进气口处在不接任何容器的情况下,
经充分抽气后所能达到的最低气压称为极限真空度。
真空泵的种类繁多,工作原理各异,应用范围也不相同,一般分为:机械真空泵,蒸汽流泵,真空机组三类。
机械真空泵包括水环式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵、往复真空泵;
蒸汽流泵包括射流器、水喷射真空泵、水力喷射器等;
真空机组包括罗茨水环真空机组、罗茨旋片机组、罗茨往复机组等等。
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