罗茨真空泵也是真空获得的基本设备。罗茨泵最主要的特点是不能单独使用，需要配前级泵（水环式真空泵、旋片式真空泵、往复式真空泵、滑阀式真空泵及扩散泵等）组成真空机组使用。

罗茨真空泵在1x10-3Pa压力下有很大抽速，转子与泵腔、转子与转子间有一定间隙，互不接触,具有振动小、容积大，可抽除可凝性蒸气，起动快、功耗小、维护费用低等特点。广泛应用于真空冶炼、真空脱气、真空镀膜以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除腐蚀性气体，还可以用于医药、食品、电子、化工等工业的蒸发、干燥等生产过程。

罗茨真空泵是一种容积真空泵，它是利用一对“8”字形转子在泵壳中作等速反向旋转而产生吸气和排气作用，其工作原理如图1。当转子处于1和2位置时，吸气量不断增加;转到3位置时，一部分气体被右转子隔开；转到4位置时，这部分气体开始向排气口排出。左右转子周而复始地旋转，就能连续排气。