①机械增压泵（罗茨真空泵）由于转子部件之间以及转子与泵壳之间都留有一定间隙，所以转子与泵腔、转子与转子之间没有摩擦，不需要进行油润滑，也就不会有过多的油蒸气污染真空系统。
②体积小，质量轻，结构紧凑,可高速旋转(1000～3000r／min)，抽速大(可达40000L／S)。
③在高真空情况下，抽气能力仍很强；在很宽的压强范围内[10～10-2Torr(1Torr=133.32Pa)]，都具有很大的抽速。
④泵的工作平稳，有效容积大；由于其本身没有能力将真空度为1Torr(1Torr=133.32Pa)的气体排至压力为1个大气压的大气中(压缩比仅为10左右)，故需要有辅助泵。
