旋片泵油雾的产生与分离

在旋片泵排气过程中，悬浮在被抽气体中的油滴随气体一起被排出。因此，常在泵出口看到“油雾”。同时也有少量的油蒸汽被

排出。随着环保要求的提高，新型旋片泵一般在出口设置油气分离装置。

在被排出气体中的油滴直径大约为0.01-0.8um，这样小的液滴不能用一般的编织网过滤，而是采用特殊纤维制成的过滤装置来实

现油气分离，其中要有足够小的微孔吸收油雾。过滤原件置于圆筒油雾分离器之中，被排出口气体由泵出口进入分离器，经过过

滤原件的气体到达过滤器出口时，已经的到净化。油在分离器中被收集，收集的油量可由观察窗看到。当过滤原件被堵时，压力

将增加。当压力达到1.5*105Pa时，分离器的安全阀打开，此时必须清洗或更换过滤原件。

旋片泵的除尘装置：

在有些真空工艺中会产生大量的灰尘，这些灰尘将随被抽气体一起进入旋片泵。灰尘混在泵油中，像研磨剂一样会对泵转子和泵

腔造成磨损和破坏。在灰尘量较少时，可以由油过滤系统滤除，但灰尘量较大时，为防止泵损坏，保证泵正常运转时必须使用除

尘器。被抽气体由除尘器入口进去除尘器、外筒室相当于旋风分离器，大颗粒灰尘在此被分离并沉积于外筒室底部。较小的颗粒

随被抽气体进入油浸过滤器。经过充分除尘的气体由出口进入真空泵。