真空机组是由主真空泵，前级真空泵、真空阀，除尘及干燥设备，连接导管等组成的用以获得一定的真空度的设备。常用的有机械增压泵机组，油增压泵机组，油扩散泵机组等。

常用真空机组的组成

(一)机械增压泵机组

这种机组由机械增压泵作主泵，前级泵为容积式真空泵或大气喷射泵及水环泵。一级罗茨泵和旋片真空泵串联组成的机组，工作压力范围为133.3~1.33Pa，这种机组启动快，抽速大，广泛用于冶金，化工，轻工和医药等，一级罗茨泵和大气喷射泵、水环泵、气镇式机械泵联合工作的低真空机组原理图，其中一级罗茨泵直接和大气喷射泵及水环泵(极限真空为2666.4Pa)串联使用，最低工作压强可达266.6~399.9Pa，如果主泵为两级罗茨泵时，工作压强可达0.133Pa，当需要大量排除水蒸汽时，关闭阀门2,用水环泵做前级泵，当水蒸汽分压降低到266.6~1333.3Pa后，关闭阀门1，打开阀门2,用气镇式机械泵做前级泵。