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被抽设备对真空系统的基本要求

用于进行某项真空工作的综合装置称“真空系统”,通常由真空泵、量具、管道、阀门及其它附属设备组合而成.选择和设计真空系统时,应考虑待抽系统的容积、被抽气体的性质、需要达到的最高真空度及系统的工艺要求,以使主机、管道及其它辅件能相互匹配。并尽量做到结构紧凑,工艺合理,便于测量、检漏和维修等.

设计真空系统时,最重要的是能达到最高真空度和抽气速率.在系统没有漏气的情况下.最高真空度由泵的极限真空度决定,但抽气速率除与泵有关外还与管道的正确设计有关.管道的气导率对有效抽气速率影响很大.在真空系统管道设计时应尽量挑选短而粗的管道,并尽量减少管道直径和安装方向的突变.这样才能保证有较高的抽气速率.还可看出,只有管道气导率足够大时,大泵才能发挥作用,不然大泵接在气导率较小的管道上,其有效抽气率不会增加很多。


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