电炉真空系统主要参数有工作真空度，极限真空度、抽气时间、漏气率及抽气速率等。

(一)工作真空度

真空电炉在工作期间需要保持的真空度，称为工作真空度，其数值按热处理工艺要求而定，在满足工艺要求的前提下，尽量选择较低的工作真空度。这样可简化真空系统，降低炉子造价，此外，对含Cr, Ni, Mn等易挥发的金属与合金，在低真空下不易挥发，因而常常处理这类工件时，向炉内充入微量气体，减少金属元素的蒸发，通常通入的气体有氮、氩等，使炉内压力维持在200~26.6Pa下加热，可得到两全其美的效果。

(二)极限真空度

真空炉(空炉)所能达到的最高真空度称为极限真空度。它是考核炉子各部件的加工、装配好坏、真空机组抽气能力与极限真空、炉子放气、偏气和真空卫生情况的重要指标。

(三)抽气时间

抽气时间是炉子从某一压力开始抽到要求压力所需的时间，在低真空、中真空区域的前段，抽气时间可以简化计算，近似机械泵预抽时间，其总抽气时间包括机械泵的预抽时间再加上主泵(如罗茨泵或油扩散泵)从连接后到抽至某一要求压力的时间，油扩散泵与油增压泵的预热时间不包括在抽气时间内。

(四)漏气率

漏气率是真空炉制造质量中密封性能的检验指标，系指处于高压或高浓度下的气体在单位时间内通过漏孔流入低压炉内的气体量，由于漏气率参数有一个体积单位，用起来不甚方便，因此推荐用压升率作为检验真空炉漏气的指标。