安装连接起来的真空系统和有关的工作过程可对真空泵造成污染。真空泵安装不正确也可能对真空系统造成问题。正确的安装程序可以避免许多潜在的困难问题。

对所有的真空泵，都应采取隔震措施。隔震的方法取决于泵的结构和动力传输特性。对产生纯外转矩的不平衡的泵，必须牢固地固定，用螺栓将泵固定在厚重的底板上是简单的固定方法。现在的大部分真空泵都是平衡泵，在它们的入口、出口处以及与地板都来取隔震措施。对于小泵，其入口和出口管可以做得很软，并有足够惯量，以产生必要的隔震作用。

人造橡胶管或柔性的波纹管不仅防止了震动的传播，而且也起了隔离噪音的作用。由金属弹簧或人造橡胶弹簧最有效地提供隔离安装，当选择正确时，泵可以在任意一个能承受其重量支撑物上工作。入口连接件的设计应满足下述要求:提供足够的流导，防止泵油进入工作室，防止尘粒吸入泵内。

由于所有的油封式机械真空泵都在泵入口处会溅油(除非设置了防溅油障板)，所以必须设计入口歧管装置，以免油流到泵的上流，这对于小泵来说问题不大，只是增加泵的尺寸。在布置防溅管道时，歧管的水平部分的长度要大于垂直部分的高度，这样，能提供必要的障板作用。泵入口“T”形连接中的油池可以作为一个简单的尘粒阱。

在安装多套泵时，将排出管接到一个中央系统上通常比较经济。过滤能力取决于处理的总气体负荷。在安装中，静电过滤器和油烟净化器常是有效的，这是因为使用它们无需前级真空，并且相对而言，无需维修。好的真空系统设计应该包括一个隔离阀和充气阀。真空泵停泵时，它就是一个漏气源。

在停泵之前关闭隔离阀，以防止容器内压力的上升。泵与工作真空室完全隔离，则可以独立地检测泵的本底压强。充气阀的用途是在泵刚要停止或停止时破坏泵入口的真空。如果不这样做，泵内就可能被油填满，造成下次启动困难，或者因过高的液压负荷而损坏。若泵与真空系统隔离了，气镇阀可以当作充气阀对泵充气。

在驱动发生故障的情况下，油截止装置(例如正常开启的电磁阀)将不会关闭，这可能造成泵油返回真空系统。为了防正这种现象，可以在泵的入口处使用一个单向阀，该阀既不限制气流的流入又阻止泵液的反流。如果这样不够理想(产生压强降)，还可以使用一个停泵时关闭的排出口单向阀，停泵时将泵反转几周，使排出口和进气口的压力平衡，则避免了返油。零速开关也可以用于推动隔离阀和充气阀。