低温泵是利用低温(低于100K)表面冷凝和吸附气体来获得和保持真空的设备。它有很多优点：

1）起始压力高（原则上可从大气压开始抽气），极限压力低，可达10-13Pa，因此，其工作压力范围宽。

2）抽速大，对于20℃空气，最大抽速可达11.6L/s·cm2。

3）可以抽除各种气体，从而获得清洁的超高真空。

4）作为大容量的排气系统，占地面积小，电力消耗少。

5）有极大的灵活性，可以做成插入式，用于无法布置其他类型泵的场合。低温泵运行时需要冷剂或制冷设备。

低温泵的应用范围相当广泛：

1）在空间科学技术中，宇宙空间存在着真空和低温状态，外层空间的真空度可达10-14Pa，温度为3K左右。因此，低温泵是宇宙空间模拟的理想设备，为此，研究空间条件下材料表面现象，低压空气动力学实验，火箭发动机高空点火试验，空间生物技术等，都用低温泵。

2）应用在高能物理、等离子体和核聚变研究中。

3）应用在薄膜制备领域。

4）应用在微电子学，尤其是半导体微电子技术，如离子注入，离子刻蚀等。

5）应用在近代科学仪器中，如扫描电镜，电子衍射仪等各种表面分析仪器。