在旋片式真空泵工作时，油蒸气会逆着气流运行方向进入旋片式真空泵口，通过入口管路最终进入被抽容器。油蒸气的返流童随压力的降低而增加，在极限压力附近时，返流虽最大。返流油蒸气主要由泵油中最轻馏分组成。
油的返流会污染真空室.影响最终产品的质量，必须加以控制。防止油返流的措施主要如下。
①在旋片泵泵入口管路上设置放气阀。使入口压力维持在10Pa或更高。这样可以减小返流98%.
②对干单级泵.在泵运转时打开气镇阀就能很好地防止油的返流。
③在泵入口设置吸附阱，依靠吸附剂吸附返流蒸气。粒状活性氧化铝可以吸附99%的返流油热气。这种吸附阱需定期更换吸附剂，以防吸附材料因吸气能力达到饱和而失效。
④使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很小，但由于价格较贵，因此影响到它们的广泛使用。
