凡能产生真空的设备通称为真空泵，常用的有机械泵、扩散泵、吸附泵和钛泵。真空泵的性能主要用抽气速率和极限真空度两个量来描述。机械泵和扩散泵都要用特种油作为工作物质.因而要防止研究对象对油及油对研究对象的污染。由于这两种泵价格低廉，是实验室中最常用的。机械泵抽气速率很高，但只能产生0.1333-1.333Pa的低真空。扩散泵必须用机械泵作为前级泵，可获得优于1.333 x10-6~1.333x10-3Pa的高真空。吸附泵和钛泵都属于无油泵.不存在油蒸气的污染问题，二者串联使用时可获得优于1.333x 10-7Pa的超高真空。

真空系统主要包括3个部分:真空产生、真空测量和真空使用。可根据需要进行合理的组装。要安装一个良好的真空系统，是一个复杂而又精细的工作，这里只作简单介绍，详细资料请查阅真空技术有关专著。在材料及部件的选择上主要取决于真空度。实验室中常用玻璃材料吹制真空系统，而一般商品设备则多用金属材料。选用机械泵时要注意它的真空度和抽气速率需与扩散泵匹配。系统真空度的测量可按所需的址程选用真空计。目前常用直读式复合真空计，具体的使用方法可参阅各种型号仪器说明书。