在扩散泵发展初期，多用汞做为工作液。但由于汞在室温下具有高达2x10-3托的饱和蒸汽压，故必须配以冷阱，以降低饱和蒸汽压，较为麻烦.且汞有毒，故后来多采用有机油类做为工作液。做为工作液的油类，必须满足下列要求:
(1)在室温下的饱和燕汽压足够低，以提高泵的极限真空度。
(2)在加热工作的沮度下具有高的饱和蒸汽压，以能得到高浓度的蒸汽。
(3)热稳定性、化学稳定性及抗氧化性好。
扩散泵油主要有两类，一类是混合物油，一类是单质油。
常用的混合物油多是石油烃类，是分馏石油产品得到的。
重要的单质油有硅油及全氛聚醚等。硅油即有机硅树脂，是由人工合成的。
