(一)真空的概念
在真空技术上,真空是指压强低于大气压的空间。真空可以分为“自然真空”和“人工真空”两种。由于地球的引力作用,随着地面高度的升高,空气越来越稀薄,压强越来越低,自然形成的真空称自然真空。用真空装置使空间形成的真空称人工真空。不管是自然真空,还是人工真空,都达不到真正的“真空“。
(二)真空的单位
真空的单位用真空度表示。
国际标准单位是帕斯卡,简称帕(Pa),定义为I牛顿力作用在1平方米面积上的压强为1帕斯卡。即1帕(pa) =1牛顿/米2( N/m2)
在日常生活中,时常还见到托(Torr )、巴(bar),毫米汞柱(mmHg),标准大气压(atm)、工程大气压(at)等压强单位,根据定义,它们的换算关系为:
1atm=760mmHg=760Torr= 1.013x105Pa
1bar=75OTorr=1x105Pa
1at=735.6Torr=9.8x104pa
1Torr=133.3Pa
(三)真空泵的主要参数
真空泵的种类很多,其工作范围、条件、性能指标各不相同,但主要的参数有三个:起始压强、抽气速率和极限真空。
起始压强(Pa)是指泵无损坏起动并有抽气作用的正常工作的压强,如油封旋转机械泵可以在大气压下启动,而扩散泵就必须在10 Pa左右才能启动。
抽气速率(m3/s)即真空泵在规定条件工作时,在不引人气体正常工作情况下,趋向稳定的最低压强。极限真空直接反映真空泵的质量和整个真空系统的状态,是检验泵本身或真空系统的一个主要指标。