上海飞鲁真空泵的中真空系统一般是由两个以上的真空泵申联组成的。
(1)油增压泵串联油封机械泵组成的真空系统。该系统的工作压力范围为1.33~1.33*10-1Pa.其优点是系统简单.抽气能力大.振动小.工作稳定可靠,维修方便。缺点是预抽时间比罗茨泵系统长。
(2)罗茨泵串联油封机械泵的真空系统。该系统的工作压力范围为1. 33~1333Pa.优点是抽气能力大,启动快.预抽时间短。缺点是工作时噪声较大。图1为这种系统的典型示意图。
(3)罗茨泵申联小型罗茨泵(中间泵),再串联机械泵的真空系统。系统的工作压力范围为0.133-1333Pa。该系统不但其备了罗茨泵系统的特点.而且加宽了工作压力范围和最佳压缩比。
(4)罗茨泵串联水环泵的真空系统。该系统适合于排出灰尘较多的应用设备上. |