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真空测量中热偶真空计的概述

在真空技术中,需要测量各种参数,其中最重要的是真空度,而测量真空度的范围很广,从107pa~10-9pa之间,这样宽的压强范围不可能只用某一种通用的真空计来进行测量。目前,根据气体压强的各种物理现象研制了各式各样的真空计,供真空测量所用。

现有U形真空计、压缩真空计、热偶真空计、电离真空计、放射性真空计和磁控放电真空计等.

最常见的真空计是热偶真空计和电离真空计两种。

热偶真空计

在低真空下,气体的导热性和压强有关,压强愈高,则分子密度就愈大,气体的导热性就愈好;反之,当压强愈低(即真空度愈高)时,气体的导热就愈差.利用气体导热性与真空度之间的关系,制成各种类型的热传导真空计。

常用的热偶式真空计(简称热偶计)结构比较简单,真空计管(又称规管)由玻璃制作,管内两根支架上焊一根热丝(FTF),另外两根支架上焊接一对热电偶(ET和NT),热丝和热偶在交叉点T焊接或连接。热丝的加热电源由稳定电源供给,其大小由电位器W调节,用毫伏表G测量R上电压降,便知加热电流大小。当接通热丝电K时.热偶两端产生的热电势也可用毫伏表G测量.

在测量时应保持热丝的加热电流不变.由于热偶计规管制造时其特性有差异,每个规管的工作电流也不一样,一般在100~120mA之间.在使用规管之前,首先要确定加热电流的大小,一般规管在出厂之前都会进行封口.因此,规管在没打开之前.先将它的工作电流测出。长期工作后,由于热丝表面玷污污等原因,使规管特性有所变化,在清洗后要重新确定热丝加热电流.

热偶计的优点是可测蒸气和气体总压强.能连续指示系统中压强变化.结构简单,使用方便,还可远距离测量。其缺点是读数与气体种类有关,有热惯性,读数滞后于压强的变化,环发温度变化对测量稍有影响。


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