(2)温度控制 控制泵温十分必要，由于压差小，所以第1级和第2级只需很小的压缩功。计算表明，通过加热或冷却泵空的方法控制温度是可行的。
大部分压缩是在第3级里进行，在这里温度控制是借助于调节被抽气体完成的，这类似前述冷气循环。进气口的安排对第3级是重要的。
(3)工作原理 第1级进气室气体压力为P1，它按顺时针方向被送至第2级。控制转子4排除来自第1级进气室的气体，其压力为P2，它再次按顺时针方向送到第3级。控制转子再次排除来自进气室的气体，第3级进气室气体压力为P3。
在第2相位，当第3级转子向右旋转时，第3级进气室关闭。在这个相位随着冷却气体进入，它具有压强P4。
进气室气体压力为P4，接到排气侧开口，则控制转子排除来自进气室压力P4，气体从泵排气口排出后，抽气工作结束。
4.容积抽速及极限压力：这种的容积抽速允许极限压力低于l0mbar。在30mbar的进气压力下，容积抽速可达到最大抽速的80%，在1000mbar压力下，容积抽速升到标定值。
这种容积抽速的一个重要特征是它与任何外来介质的蒸汽压力无关。此外，这种设备对冷却水的需要量是很低的，对冷却空气来说，再冷却温度对泵的热平衡是绝对够用的。借助于加热、冷却室以及对第3级冷却气体的温度，泵温能在宽的范围内适合于被抽气体温度的预先调整值。
三级罗茨真空泵具有许多能力，直到现在，其它泵只能在一点上和以高昂代价才可得到这些能力。为了经济地解决环境污染和能源问题，这种泵将广泛应用于化学处理工业领域中，在处理中不容许受到被抽气体和蒸汽的污染。
试验了铀离心分离装置中具220m3/h抽速的样机泵，用来在30mbar下抽除UF。并将其压进压力达900mbar的贮藏罐中。
