真空泵是一切获得真空装置的统称,包括用机械、物理、化学以及物理化学的方法对密闭容器抽真空的各种机器或器件。在粗真空或低真空区域,有时使用一种真空泵即可达到要求,而在真空度要求较高时,往往需要儿种不同类型的真空泵联合工作,才能满足需要。为此,目前已生产出各种类型的真空泵,尽管种类繁多,但从基本原理来看,可归纳为两大类:
(1)压缩型弃空泵这类真空泵不断从吸气方吸取气体,经压缩从排气方排走,从而逐渐获得真空。例如机械真空泵在工作循环中的吸气一压缩作用,蒸汽喷射泵利用气体枯滞牵引作用,以及分子泵的分子牵引作用,都属于这种类型。
(2)吸附型弃空泵这类泵在前级泵抽至较高真空度的基础上,利用包括吸气物质在内的各种吸气作用将气体吸去,从而进一步降低气压,提高真空度。例如离子泵利用电离吸气作用,吸附泵、低温泵和吸气剂泵利用物理化学吸附作用,都属于这种类型。
在压缩型真空泵中,机械真空泵使用最为普遍。机械真空泵,是借助机构的运动周期以改变泵内空间的容积,使真空容器内的气体不断被抽吸并压缩排出而获得真空的泵。机械真空泵的种类很多,有活塞往复真空泵、定片真空泵、水环真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、余摆式真空泵、分子泵等等,活塞往复真空泵和定片真空泵因机械效率低、机构复杂,目前已较少使用。水环真空泵和旋片真空泵的应用最为广泛,无论在粗真空方面的单独运用,还是作为前级泵在较高真空方面的配合应用,都遍及真空技术的许多领域。由于性能更优的罗茨真空泵,往往正是取代或部分取代这两种真空泵在有关领域中的应用。