所谓常规真空工艺系指没有特殊要求的真空工艺过程。这类真空装置(设备)对真空卫生的要求是:

①凡是处于真空状态或真空中的真空设备的零件或表面，都要求无积存的污染源。表面无尘埃、无铁屑、无锈蚀。

②真空设备的真空室表面要光滑，无松软组织和气孔，无死空间，内焊缝无影响真空的缺陷。

③高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂。法兰、大门、观察

窗的密封部位可涂以高真空油脂。

④无油超高真空系统(也称“清洁的超高真空系统”)应避免油蒸气影响工作介质的纯度、表面特性或工作性能，为某种工艺过程

提供清洁的超高真空环境。

超高真空金属系统常用1 Cr18Ni9Ti为结构材料。有些部位可使用无氧铜、可伐合金、纯金、纯银、钨、祖、铝、钦等。绝缘材料

常用玻璃和95真空瓷。而高分子聚合物由于可能分解出碳氢化合物污染系统，不能使用。饱和蒸气压较高的材料，如锌及其合金

也不能使用。

超高真空系统中材料的出气是限制真空度上升的重要因素。一方面采用清洗、抛光、把零部件放在真空柜中保存或真空预热除气

等方法降低出气速率，以改善材料的原始处理情况。另一方面还可以采用真空系统高温烘烤除气的办法，加速材料的出气过程，

使材料表面吸附和吸收的气体分子加速放出并被排出，冷却后材料的出气速率会降低几个数量级。因此，对于一般需要达到10-

7Pa以下压力的真空系统，都必须烘烤除气。

⑤真空设备一般应在温度为15℃-30℃，相对湿度不高于70%的清洁的空气流通的环境中工作，冷却水进水温度不高于250℃。

真空设备所在的实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验

室环境的污染，可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法，将气体排出室外。